[15p-F204-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-F204-10] 光透過を利用したSiC PINダイオード内部キャリア分布測定

〇加藤 正史¹、前 伸一¹、米澤 喜幸²、加藤 智久² (1.名工大、2.産総研)

キーワード：SiC、PINダイオード、キャリア分布

SiC PINダイオード内部のオン、オフ状態のキャリア分布を、断面を透過する光の強度を利用することで測定した。