[15p-F204-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-F204-7] 4H-SiC中へのAlのレーザドーピングおけるドープ領域の調査

〇池田 晃裕¹、角名 陸歩¹、筒井 良太¹、池上 浩¹、浅野 種正¹ (1.九大シス情)

キーワード：レーザドーピング