[15p-P10-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [15p-P10-4] High-sensitivity absorption spectra measurement of trace moisture in gas using Wavelength-Meter-Controlled Cavity Ring-Down Spectroscopy

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:CRDS, trace moisture, absorption spectra

半導体産業や有機EL産業でのハイテク化に伴い、ガス中微量水分を精確に測定、管理する需要が高まっている。本研究ではキャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた測定装置の開発を進めており、波長計を用いてレーザー周波数の制御を行う独自の手法（波長計制御型CRDS）を採用することで高感度測定を可能にした。詳細なスペクトル解析を行うことで、最終的な検出感度としてpptレベルを達成することができた。