[15p-P10-1~10] 3.8 光計測技術・機器

△ [15p-P10-4] 波長計制御型CRDSを用いたガス中微量水分の高感度吸収スペクトル測定

〇橋口 幸治¹、Lisak Daniel²、阿部 恒¹ (1.産総研、2.ニコラス・コペルニクス大学)

キーワード：キャビティリングダウン分光法、微量水分、吸収スペクトル

半導体産業や有機EL産業でのハイテク化に伴い、ガス中微量水分を精確に測定、管理する需要が高まっている。本研究ではキャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた測定装置の開発を進めており、波長計を用いてレーザー周波数の制御を行う独自の手法（波長計制御型CRDS）を採用することで高感度測定を可能にした。詳細なスペクトル解析を行うことで、最終的な検出感度としてpptレベルを達成することができた。