[15p-P10-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[15p-P10-8] Discriminations of measurement errors in optical thickness evaluations deriving characteristics of Fabry-Perot interference fringes

〇Teppei Onuki¹, Hirotaka Ojima¹, Jun Shimizu¹, Libo Zhou¹ (1.Ibaraki Univ.)

Keywords:Optical thickness gauge, measurement error

Fabry-Perot 干渉縞の反射分光計測による厚さ計は，光計測のパスライン変動に強く，誘電体薄膜や高分子フィルム，および半導体ウェハなどの製造現場で用いられる計測方法である．しかし，現場での設置条件や測定物表面品質の不完全さが測定精度に影響を及ぼす．本報では，光学アライメントおよび表面品質に起因した計測異常のそれぞれの特徴と物理的起源について，実測データの解析およびシミュレーションから調べ，測定誤差の系統判別の可能性について検討する．