[15p-P10-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[15p-P10-8] 光厚さ計における干渉縞計測異常の系統判別

〇小貫 哲平¹、尾嶌 裕隆¹、清水 淳¹、周 立波¹ (1.茨大工)

キーワード：光厚さ計、誤差

Fabry-Perot 干渉縞の反射分光計測による厚さ計は，光計測のパスライン変動に強く，誘電体薄膜や高分子フィルム，および半導体ウェハなどの製造現場で用いられる計測方法である．しかし，現場での設置条件や測定物表面品質の不完全さが測定精度に影響を及ぼす．本報では，光学アライメントおよび表面品質に起因した計測異常のそれぞれの特徴と物理的起源について，実測データの解析およびシミュレーションから調べ，測定誤差の系統判別の可能性について検討する．