[15p-P11-1~11] 7 Beam Technology and Nanofabrication（Poster）

[15p-P11-10] Transmission properties of low energy multicharge ion beam entering the gap between a pair of optical lenses

〇Syu Ishii¹, Yukihito Mase², Kenji Motohashi^1,2 (1.Toyo Univ., 2.Toyo Univ.)

Keywords:ion beam, multicharge ion, surfece scattering

本研究では、二枚の光学レンズを隙間を挟んで対向させたイオン流路に低速多価イオンを入射し、飛行時間と検出器上での変位から速さと散乱方向を測定した。このときチャネルをチルトさせることでビームの偏向を測定した。
結果、チルト角の変化による透過粒子の偏向を確認でき、さらに、散乱粒子の速さを測定すると、チルト角を変えてもほぼ変化しないことが確認された。このことから、低速Ar多価イオンがガイドされたと考えられる。