[15p-P11-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[15p-P11-9] 電圧印加値を変化させた積層型セラミックコンデンサのヘリウムイオン顕微鏡を用いた二次電子像観察

〇酒井 智香子¹、石田 暢之¹、永野 聖子¹、小形 曜一郎²、藤田 大介¹ (1.物質・材料研究機構、2.太陽誘電株式会社)

キーワード：ヘリウムイオン顕微鏡、積層型セラミックコンデンサ、電位分布

積層型セラミックコンデンサにかける電圧値を変え、ヘリウムイオン顕微鏡観察による二次電子(SE)像を得るため、電圧印加機構を導入した。誘電体領域では、電圧印加値が1 Vまでは、接地した内部電極から正にバイアスされた内部電極にかけてリニアにグレースケール値が減衰したが、1.5 V以上では、接地した内部電極の両端にSE強度の強調が見られた。電圧印加値が大きくなる程、この領域が負に大きく帯電するためと考えられる。