[15p-P11-1~11] 7 Beam Technology and Nanofabrication（Poster）

[15p-P11-2] Irradiation Effect on Transition Metal Thin Film by Liquid Cluster Ion Beam

〇Yuki Shimizu¹, Daiki Shimizu¹, Mitsuaki Takeuchi¹, Hiromichi Ryuto¹ (1.Photonics and Electronics Science and Engineering Center, Kyoto Univ.)

Keywords:cluster ion beam

9kVで加速したエタノールクラスターイオンビームをNi、Cu、Ta の３つの薄膜基板に入射し、そのスパッタ率を求めた。なおクラスターの最小サイズは100分子以下となるよう制御した。結果、アルゴンのモノマーイオンビームに比べて、どの金属薄膜においても10倍以上のスパッタ率が得られた。遷移金属基板においても液体クラスターイオンビームでの表面加工が有効であることが分かった。