[15p-P11-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[15p-P11-2] 液体クラスターイオンビームの遷移金属薄膜への照射効果

〇清水 友規¹、清水 大貴¹、竹内 光明¹、龍頭 啓充¹ (1.京大 光・電子理工学教育研究センター)

キーワード：クラスターイオンビーム

9kVで加速したエタノールクラスターイオンビームをNi、Cu、Ta の３つの薄膜基板に入射し、そのスパッタ率を求めた。なおクラスターの最小サイズは100分子以下となるよう制御した。結果、アルゴンのモノマーイオンビームに比べて、どの金属薄膜においても10倍以上のスパッタ率が得られた。遷移金属基板においても液体クラスターイオンビームでの表面加工が有効であることが分かった。