[15p-P14-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[15p-P14-6] 分子動力学計算によるAlO_xN_y/SiO₂界面におけるダイポール形成メカニズムの考察

〇高橋 憶人¹、功刀 遼太¹、中川 宣拓¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：分子動力学計算、ダイポール、high-k