[15p-P6-1~2] 15.1 Bulk crystal growth

[15p-P6-2] Growth of Mg-doped β-Ga₂O₃ single crystals by TSFZ method

〇(M1C)Daiki Fukudome¹, Nagao Masanori¹, Watauchi Satoshi¹, Tanaka Isao¹ (1.Yamanashi Univ.)

Keywords:gallium oxide, Floating Zone method

良質なp型β-Ga₂O₃単結晶育成に成功した例がほとんどない。そこでMgをアクセプタ不純物としてドープすることでp型β-Ga₂O₃単結晶の育成を試みた。本研究ではFloating Zone(FZ)法に着目し、Mgを含有した溶媒を用いたTraveling Solvent Floating Zone(TSFZ)法によるMg添加β-Ga₂O₃単結晶の育成および評価を行った。