講演情報

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[16a-412-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 412 (412)

松川貴(産総研)、若林整(東工大)

10:15 〜 10:30

[16a-412-4] [第8回シリコンテクノロジー分科会奨励賞受賞記念講演] Laminated Mo/C Electrodes for 4H-SiC Schottky Barrier Diodes with Ideal Interface Characteristics

〇鈴木智之¹、若林整¹、筒井一生¹、岩井洋¹、角嶋邦之¹ (1.東工大)

キーワード：シリコンテクノロジー分科会奨励賞