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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[16a-424-1~7] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月16日(木) 10:00 〜 12:00 424 (424)

田川雅人(神戸大)、辻博司(京大)

11:15 〜 11:30

△ [16a-424-5] 金属多結晶を用いたスパッタリング収率の結晶方位依存性の評価（２）

〇(M1)平井大陽¹、長崎正雅¹、吉野正人¹、山田智明¹ (1.名古屋大)

キーワード：スパッタリング収率、結晶方位、EBSD