2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-B5-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:00 B5 (B5)

鵜殿 治彦(茨城大)、立岡 浩一(静岡大)

11:45 〜 12:00

[16a-B5-11] 真空蒸着法により作製したa-Si/BaSi2の接触抵抗低減効果

須原 貴道1、〇中川 慶彦1、原 康祐2、黒川 康良1、末益 崇3、宇佐美 徳隆1 (1.名古屋大、2.山梨大、3.筑波大)

キーワード:BaSi2、接触抵抗