[16a-B5-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-B5-11] 真空蒸着法により作製したa-Si/BaSi₂の接触抵抗低減効果

須原 貴道¹、〇中川 慶彦¹、原 康祐²、黒川 康良¹、末益 崇³、宇佐美 徳隆¹ (1.名古屋大、2.山梨大、3.筑波大)

キーワード：BaSi2、接触抵抗