[16a-B5-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-B5-2] 3C-SiC 膜上に成長したBaSi₂ 膜の結晶構造の評価

〇中川 慶彦¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大工)

キーワード：BaSi2、真空蒸着、3C-SiC