[16a-F203-1~11] 17.3 Layered materials

△ [16a-F203-9] Crystallinity of top & bottom surface of CVD-MoS₂ interacting with substrate

〇(M2)Sora Kurabayashi¹, Kosuke Nagashio^1,2 (1.Tokyo Univ., 2.PRESTO-JST)

Keywords:MoS2, Crystallinity, CVD

酸化基板上で成長したCVD-MoS₂は基板のO原子と化学結合を形成するという報告があり，結晶性に上限を与える可能性がある．そこで本研究ではCVDのMoS^₂をそのまま転写した試料と裏返して転写した試料に対してBG変調での電気測定を行い，CVD-MoS₂の裏面と表面の結晶性の評価を行った．