The 64th JSAP Spring Meeting, 2017

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12 Organic Molecules and Bioelectronics » 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[16a-P3-1~32] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

Thu. Mar 16, 2017 9:30 AM - 11:30 AM P3 (BP)

9:30 AM - 11:30 AM

[16a-P3-25] Research for Optimizing Materials of Atomic Layer Deposition for Photonic Crystal Nanolaser Bio-Sensors

Akihiro Sakata1, Shoji Hachuda1, Toshihiko Baba1 (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:atomic layer deposition, bio-sensor, chemical resistance properties

我々は,フォトニック結晶ナノレーザを応用したバイオセンサを提案し,バイオマーカの高感度検出を実証してきた.ナノレーザ表面には,原子層堆積法により,主にZrO2を被膜しており,GaInAsPを保護している.しかし,ZrO2を被膜することによるレーザ発振強度やセンサ感度の低下が問題となっている.本研究ではZrO2以外の材料を同様に原子層堆積し,各材料が保護膜として機能するかを化学耐性の観点から評価した.