[16a-P3-1~32] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[16a-P3-25] Research for Optimizing Materials of Atomic Layer Deposition for Photonic Crystal Nanolaser Bio-Sensors

〇Akihiro Sakata¹, Shoji Hachuda¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:atomic layer deposition, bio-sensor, chemical resistance properties

我々は，フォトニック結晶ナノレーザを応用したバイオセンサを提案し，バイオマーカの高感度検出を実証してきた．ナノレーザ表面には，原子層堆積法により，主にZrO₂を被膜しており，GaInAsPを保護している．しかし，ZrO₂を被膜することによるレーザ発振強度やセンサ感度の低下が問題となっている．本研究ではZrO₂以外の材料を同様に原子層堆積し，各材料が保護膜として機能するかを化学耐性の観点から評価した．