[16a-P3-1~32] 12.7 医用工学・バイオチップ

[16a-P3-25] フォトニック結晶ナノレーザバイオセンサの保護に最適な原子層堆積材料の探索

〇坂田 晟大¹、羽中田 祥司¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大・院工)

キーワード：原子層堆積、バイオセンサ、化学耐性

我々は，フォトニック結晶ナノレーザを応用したバイオセンサを提案し，バイオマーカの高感度検出を実証してきた．ナノレーザ表面には，原子層堆積法により，主にZrO₂を被膜しており，GaInAsPを保護している．しかし，ZrO₂を被膜することによるレーザ発振強度やセンサ感度の低下が問題となっている．本研究ではZrO₂以外の材料を同様に原子層堆積し，各材料が保護膜として機能するかを化学耐性の観点から評価した．