[16a-P3-1~32] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[16a-P3-27] Evaluation of APTES Modified by Atomic Layer Deposition For Stabilization of Photonic Crystal Nanolaser Biosensors

〇Shoji Hachuda¹, Atsuhiro Tanaka¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:APTES, atomic layer deposition, spectral ellipsometry

我々はGaInAsPフォトニック結晶 (PC) ナノレーザによる高感度タンパク質センシングを報告してきた．抗体は3-Triethoxysilylpropylamin (APTES)，グルタルアルデヒド (GA) を介して修飾するが，これまで厳密に基板表面に被覆されているか評価してこなかった．そこで今回は原子層堆積法 (ALD) で修飾したAPTESを分光エリプソメーター (Semi lab, SE-2000) による膜厚測定と水滴の接触角からの親水性評価からAPTES膜の評価を行った．