[16a-P4-1~29] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[16a-P4-7] p型GaNに対するTi系オーミックコンタクトの低温形成

〇高橋 昌靖¹、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整¹、岩井 洋¹、筒井 一生¹ (1.東京工業大学)

キーワード：P型GaN