[16a-P6-1~22] CS.5 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[16a-P6-9] Al誘起層交換によるSi_1-xGe_x熱電薄膜の低温合成

〇都甲 薫¹、中田 充紀¹、山本 淳²、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.産総研)

キーワード：シリコンゲルマニウム、層交換、熱電