[16p-302-1~11] プリンテッドエレクトロニクスにおける有機トランジスタの現状と課題

[16p-302-7] プリンテッド有機結晶膜半導体集積回路

〇竹谷 純一^1,2,3 (1.東大新領域、2.パイクリスタル、3.阪府産技研)

キーワード：有機半導体、有機単結晶トランジスタ、印刷できるCMOS回路

高移動度の印刷できる有機半導体単結晶フィルムの集積回路について、当グループにおける開発状況を述べる。有機半導体単結晶材料は、低分子化合物がほぼ完全な周期性構造を有するため、ギャップ内準位が極めて少なく、低ゲート電圧で導入される少量のキャリアによって、通常の多結晶デバイスよりずっと高い5-10 cm²/Vs程度の移動度をp型及びn型材料において実現することである。溶液を塗布する工程で結晶化させるプロセスを開発し、10 cm角程度の基板上に、結晶軸がそろった大面積の有機半導体単結晶ウェーハを作製することが可能となっており、CMOS回路を自由にデザインすることが可能となった。