[16p-411-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-411-10] 極薄PZT MEMS光スキャナの作製と性能評価

〇竹下 俊弘¹、牧本 なつみ¹、小林 健¹ (1.産総研)

キーワード：MEMS、フレキシブル、PZT

近年フレキシブルハイブリッドエレクトロニクスが注目を集めており、MCU、オペアンプ、センサデバイスの極薄化・フレキシブル化の研究が行われている。しかし、これまでアクチュエータを薄化しフレキシブル基板に実装した報告は少ない。本報告では極薄MEMSミラーを作製とその特性に関して報告する。