[16p-412-1~20] 13.5 デバイス／集積化技術

[16p-412-19] スパッタリング法で堆積したMoS₂薄膜へのコンタクト抵抗と熱処理依存性

〇外山 真矢人¹、大橋 匠¹、松浦 賢太朗¹、清水 淳一¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：二硫化モリブデン、コンタクト抵抗