[16p-412-1~20] 13.5 デバイス／集積化技術

[16p-412-3] IoT応用に向けたフィン型トンネルFETによるCMOSインバーターの形成

〇森田 行則¹、福田 浩一¹、柳 永勛¹、森 貴洋¹、水林 亘¹、大内 真一¹、更田 裕司¹、大塚 慎太郎¹、右田 真司¹、昌原 明植¹、遠藤 和彦¹、太田 裕之¹、松川 貴¹ (1.産総研)

キーワード：トンネルFET、TFET、CMOSインバーター

トンネルFETは、従来のMOSFETによる回路の限界を超えた省電力化が可能であることから、省電力のIoTチップ向けトランジスタとして注目されている。今回、フィン型トンネルFETを用いてマルチフィンCMOSインバーターを形成し、動作を検証した。