[16p-424-1~8] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[16p-424-3] Long-time Operation Characteristics of Ionic Liquid Ion Source Utilized with Bamboo Charcoal

〇Yuma Higashiura¹, Kazuya Nishi¹, Mitsuaki Takeuchi¹, Hiromitsu Ryuto¹ (1.Photonics and Electronics Science and Engineering Center,Kyoto Univ.)

Keywords:Ion Source, Ionic Liquid, Bamboo Charcoal

イオン液体(IL)を電界脱離によりイオンビームとして放出させる目的で使用してきたニードル型グラファイトではILがエミッタ表面を伝い供給される都合上,IL保持量が少なく,長時間の連続動作が難しい.竹炭エミッタは多孔質で毛細管現象により表面だけでなく内部を通過し,多くのイオン液体を保持でき,歩留まりと長時間動作特性の向上が期待できる. このため本研究では竹炭エミッタのイオン液体イオン源を作製し, イオンビームの長時間動作特性を評価した. 50時間以上にわたって負イオンでは10 µA,正イオンでは100nA以上の全電流が観測された.また竹炭エミッタの歩留まり率は100%に近い値となり改善できた.