[16p-424-1~8] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[16p-424-4] Observation of high mass ions in atom probe analysis of titanium nitride sputtered on tungsten tip

〇Chikasa Nishimura¹, Yuki Haneji¹, Hiroshi Tsuji¹, Yasuhito Gotoh¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:atom probe, time of flight, titanium nitride

軽元素を含む化合物のアトムプローブ(AP)分析においては、軽元素組成の定量性に乏しいという問題がある。この解決には軽元素を含む化合物の電界蒸発機構の解明が必須であるため、窒化チタン(TiN)のAP分析を進めている。スパッタリングによりタングステン針(W-tip)上にTiN薄膜を形成して針状試料を作製し、AP分析を試みた。結果として、質量スペクトルの高質量電荷比領域に一定間隔をもつピーク群が観測された。