[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[16p-424-4] タングステン針に成膜した窒化チタンのアトムプローブ分析における高質量イオンの観測

〇西村 知紗¹、羽路 祐紀¹、辻 博司¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：アトムプローブ、飛行時間形質量分析、窒化チタン

軽元素を含む化合物のアトムプローブ(AP)分析においては、軽元素組成の定量性に乏しいという問題がある。この解決には軽元素を含む化合物の電界蒸発機構の解明が必須であるため、窒化チタン(TiN)のAP分析を進めている。スパッタリングによりタングステン針(W-tip)上にTiN薄膜を形成して針状試料を作製し、AP分析を試みた。結果として、質量スペクトルの高質量電荷比領域に一定間隔をもつピーク群が観測された。