[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[16p-424-6] 帯電液滴およびガスクラスター衝撃による二次イオン測定

〇二宮 啓¹、十河 真生²、坂井 大輔²、渡邉 勝己²、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三³ (1.山梨大院総合、2.アルバック・ファイ、3.山梨大クリーン)

キーワード：二次イオン質量分析、帯電液滴、ガスクラスター

我々は帯電液滴ビームの実用性能を向上させるため、通常は大気圧下で行う水溶液のエレクトロスプレーを真空下で行ってそれをイオンビーム源として利用するための技術開発を進めている。今回は試作した真空型帯電液滴ビーム銃と近年表面分析でよく利用されるガスクラスターイオンビーム銃を飛行時間型二次イオン質量分析計に設置し、両方のビームを有機試料に衝撃させて二次イオン測定を行った。