2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » CS.4 7. コードシェアセッション:ビーム応用大分類

[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション:ビーム応用大分類

2017年3月16日(木) 14:00 〜 16:00 424 (424)

豊田 紀章(兵庫県立大)

15:15 〜 15:30

[16p-424-6] 帯電液滴およびガスクラスター衝撃による二次イオン測定

二宮 啓1、十河 真生2、坂井 大輔2、渡邉 勝己2、チェン リーチュイン1、平岡 賢三3 (1.山梨大院総合、2.アルバック・ファイ、3.山梨大クリーン)

キーワード:二次イオン質量分析、帯電液滴、ガスクラスター

我々は帯電液滴ビームの実用性能を向上させるため、通常は大気圧下で行う水溶液のエレクトロスプレーを真空下で行ってそれをイオンビーム源として利用するための技術開発を進めている。今回は試作した真空型帯電液滴ビーム銃と近年表面分析でよく利用されるガスクラスターイオンビーム銃を飛行時間型二次イオン質量分析計に設置し、両方のビームを有機試料に衝撃させて二次イオン測定を行った。