[16p-501-1~6] スピン伝導デバイスの進展と応用の最前線

[16p-501-3] トンネル磁気抵抗磁場センサの開発と生体磁場計測への応用

〇安藤 康夫¹ (1.東北大院工)

キーワード：磁気センサ、トンネル磁気抵抗、生体磁場

強磁性トンネル接合を用いた、室温動作の生体磁場測定センサを開発した。トンネル接合素子を直並列に微細加工してのノイズ低減を図り、S/N比向上のためのブリッジ、アンプ、フィルタなどの各種回路を組み込んだ、磁場センサモジュールを作製した。これを用いて心磁場の測定に成功した。本講演は、このセンサの詳細な特性、生体磁場検出に向けての必要な技術課題、並びに、将来の展開の可能性について述べる。