[16p-502-1~10] Process technology for advanced power semiconductor devices

[16p-502-10] Process technologies on high-temperature and high-frequency diamond power devices

〇Hitoshi Umezawa¹ (1.AIST)

Keywords:Diamond, Power devices, Process technologies

ダイヤモンドは高い絶縁破壊電界や移動度、物質中最大の熱伝導率や高いショットキー障壁高さなどから、高温でも大出力動作、低消費電力および高速動作が同時に可能な、高機能な次々世代半導体材料としての可能性が議論されている。本講演ではダイヤモンドの材料性能と特徴を説明し、プロセス技術とデバイス性能を比較議論して紹介する。