[16p-503-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-503-9] シリコンおよびサファイア基板上への規則配列GaNナノコラムの作製

〇東 幸幹¹、関口 寛人¹、山根 啓輔¹、岡田 浩^2,1、若原 昭浩¹、岸野 克巳³ (1.豊橋技科大工、2.EIIRIS、3.上智大理工)

キーワード：GaNナノコラム、規則配列、窒化アルミニウム