[16p-512-1~10] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16p-512-3] フレキシブル基板上に形成した薄膜のＸ線反射率測定のための簡便かつ再現性の高い試料固定法

徳永 幸大²、上林 浩行²、田尻 恭之¹、佐藤 誠²、〇香野 淳¹ (1.福岡大理、2.東レ(株) フィルム研)

キーワード：薄膜、フレキシブル基板、Ｘ線反射率

ポリエチレンテレフタレート(PET)などの曲げられるプラスチックフィルム上の薄膜の膜厚、密度、表面・界面ラフネスを高精度で評価するため、Ｘ線反測定法を用いた評価技術の開発に取り組んでいる。今回は、我々の考案した簡便かつ繰り返し精度の高いフィルム固定法を紹介し、PETフィルム上に成膜したシリコン酸化膜のＸ線反射率の測定と解析を例として、その精度及び繰り返し再現性を検証した結果について報告する。