2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

2 放射線 » 2.2 検出器開発

[16p-E204-1~8] 2.2 検出器開発

2017年3月16日(木) 13:30 〜 15:30 E204 (E204)

人見 啓太朗(東北大)

13:45 〜 14:00

[16p-E204-2] 酸化物半導体を用いた重粒子線検出器の開発

三好 寿顕1,2、小山 晃広3、大鷹 豊3,4、島添 健次3、蛭海 元貴5、新田 宗孝5、錦戸 文彦6、山谷 泰賀6、尾上 孝雄1、高橋 浩之3 (1.阪大、2.シャープ、3.東大、4.首都大、5.千葉大、6.量研機構放医研)

キーワード:酸化物半導体、重粒子、IGZO

重粒子線のビーム形状を高精細にモニタリングするために酸化物半導体素子を用いた検出器を試作した。検出器はガラス上に半導体を製膜する技術を用い,フォトダイオードと酸化物半導体を製膜することで製作した。検出器に重粒子線を照射し,ビーム形状を取得したので報告する。