[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [16p-E206-10] ラマン分光法を用いたトレンチ近傍の異方性2軸応力評価

〇鈴木 貴博¹、横川 凌¹、大麻 浩平²、西脇 達也²、浜本 毅司²、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.(株)東芝)

キーワード：トレンチ、ラマン