2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2017年3月16日(木) 13:45 〜 18:30 E206 (E206)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、森 伸也(阪大)、蓮沼 隆(筑波大)

15:30 〜 15:45

[16p-E206-7] X線照射によるSiO2表面帯電の自発的補償機構の解明に向けた試料電流測定

張江 貴大1,2、小林 大輔2、山本 知之1、廣瀬 和之1,2 (1.早大理工、2.宇宙研)

キーワード:X線光電子分光法、チャージアップ、電子輸送