[16p-F205-1~18] 12.7 医用工学・バイオチップ

[16p-F205-10] エラストマーナノシートを利用した光干渉型表面応力バイオセンサ

〇寺元 玲奈¹、藤枝 俊宣^2,3、佐藤 信孝²、武岡 真司²、澤田 和明¹、高橋 一浩^1,3 (1.豊橋技科大、2.早稲田大、3.JSTさきがけ)

キーワード：バイオセンサ

本研究では、生体分子の非標識検出を目指して開発しているMEMS光干渉型表面応力センサのストレス感度を向上させるため、低ヤング率材料のエラストマーナノ薄膜を用いたMEMSセンサを作製することを目的とする。膜厚620nmのエラストマー薄膜をシリコン基板上に転写し、2.46 mmの均一なギャップの形成に成功した。さらに、薄膜上にモデル分子を吸着させ、ストレスの変化による膜の変形を観察するとともに、ストレス感度の1桁向上を実現した。