[16p-F205-1~18] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [16p-F205-11] 非標識バイオセンシングに向けた高い波長選択性を持つMEMS光干渉型表面応力センサの製作

〇高橋 利昌¹、飛沢 健¹、三澤 宣雄²、瀧 美樹¹、澤田 和明¹、髙橋 一浩^1,3 (1.豊技大工、2.神奈川科学技術アカデミー、3.JSTさきがけ)

キーワード：バイオセンサ、ファブリペロー干渉計、波長選択性

ＭＥＭＳ光干渉計を利用した非標識バイオセンサの高感度化を目指し、金ハーフミラーを使用した波長選択性の高い干渉計の作製を行った。膜厚50 nmのAuハーフミラーを一体化することで、従来構造のセンサに対し5.2倍の波長選択性を実現し、センサ上に吸着したBSA抗体により40nmの波長シフトを観測することに成功した。