[16p-P14-1~10] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[16p-P14-1] MEMS光位相変調装置に関する検討

〇歸山 敏之

キーワード：光位相変調装置、マイクロミラー、光位相デジタル変調

光位相デジタル変調を可能とする光位相変調装置を検討している。マイクロミラー光反射板の位置を調節し、その光反射板の表面でレーザー光を反射し、反射光の光路長を制御し光の位相を変調していく。マイクロミラー光反射板は上位置に静止、または下位置に静止するかの2安定状態間をスイッチング移動し、印可されるバイアス電圧により静止状態における反射板の高さを約0.1umの範囲で調節する。