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[16p-P14-3] 3次元光インターコネクション用ポリマー縦型MMI装荷4×4光スイッチの作製
キーワード:3次元、ポリマー、光スイッチ
3次元光回路は、2次元と比較してより高密度・高機能性が期待される。我々はこれまでに縦型方向性結合器を用いた3次元光多ポートスイッチの評価を行ってきたが、縦型方向性結合器は上下方向に1段当たり3~4 ㎛前後のレイヤー間接続しかできない。そこで我々は新たに縦型多モード干渉導波路(VMMI)結合器を用いた3次元4×4光スイッチを提案し、多ポート化した素子の作製を行い、基本的なスイッチング特性が得られたので報告する。