[16p-P16-1~7] 22.1 Joint Session M

[16p-P16-6] Effect of the Crystallinity of AlN Thermoconductive Film on the Performance of Si Nanowire Thermoelectric Generator

〇(B)Ryo Yamato¹, Shuichiro Hashimoto¹, Shuhei Asada¹, Taiyu Xu¹, Shunsuke Oba¹, Yuya Himeda¹, Takashi Matsukawa², Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:Thermoelectric Generation, Si Nanowire, AlN

IoT推進に伴い微小環境熱から電気エナジーを取り出す熱電デバイスの需要が高まっている。Siナノワイヤは高い電気伝導率と低い熱伝導率を有するデバイス材料であり、CMOSコンパチで作成可能な安価な熱電デバイスが期待されている。発電の高出力化を達成するには、寄生熱抵抗の削減が重要となる。今回、熱伝導率が高くSiと親和性が高いAlN薄膜を異なる方法で成膜した熱電デバイスを作製し、AlN結晶性が熱電特性に及ぼす影響を調査した。