16:00 〜 18:00 [16p-P16-6] Siナノワイヤ熱電デバイスの発電特性に与えるAlN熱伝導膜の結晶性の影響 〇(B)大和 亮1、橋本 修一郎1、麻田 修平1、徐 泰宇1、大場 俊輔1、姫田 悠矢1、松川 貴2、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.産総研)