[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-11] a-Si薄膜によるSiO2/Si基板上でのダイヤモンド核発生の促進

〇品川 友宏¹、吉嗣 晃治¹、仲村 恵右¹、西村 邦彦¹、柳生 栄治¹、山田 英明²、山向 幹雄¹ (1.三菱電機、2.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、アモルファスシリコン