[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-8] 墨スパッタ膜のガス吸着特性と表面物性の関係性

〇須田 順子¹、尾崎 健人¹、宮原 利幸¹、杉本 岩雄¹、村松 宏¹、高橋 和彦² (1.東京工科大、2.同志社大工)

キーワード：炭素質薄膜、水晶振動子、プローブ顕微鏡