[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[17a-313-10] MDシミュレーションを用いた水素によるSiNエッチングの表面反応解析

〇菅野 量子¹、礒部 倫郎²、浜口 智志² (1.日立研開、2.阪大工)

キーワード：SiN膜エッチング、水素ラジカル、分子動力学計算