[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[17a-313-2] フルオロカーボンプラズマを用いたエッチングプロセスにおけるSi基板上の微結晶形成

〇(M1)黒田 源斗¹、高橋 和生¹、西尾 弘司¹ (1.京都工繊大)

キーワード：エッチング、透過型電子顕微鏡、微結晶