[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-313-3] DCシンクロパルスプラズマを用いた最先端絶縁膜エッチングプロセスにおけるフルオロカーボンラジカルの挙動

〇植山 稔正¹、竹田 圭吾¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、関根 誠¹、堀 勝²、岩田 学³、大矢 欣伸³ (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.東京エレクトロン宮城)

キーワード：エッチング、パルスプラズマ、プラズマ計測